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硅浸没式光栅的设计和研制
光栅是光栅光谱仪的核心部件, 其分光能力直接决定了仪器的光谱分辨率。基于浸没式光栅的光栅光谱仪使用浸没式光栅作为分光元件。......
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浸没式光栅
光栅光谱仪
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